Táirgeann na monarchana sputtering is mó ar domhan spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim ag baint úsáide as dhá phróiseas ar leith. De réir teicníochtaí aitheanta réitigh agus brionnú, is minic a dhéantar deighilt na spriocanna a bheith mar thoradh ar ábhair chóimhiotalaithe a chur leis le linn spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim a tháirgeadh, rud a íslíonn cáilíocht na scannán sputtering agus is dócha go gcruthóidh microparticles. ar dhromchla an sputtering sputtering, a athróidh freisin cé chomh haonfhoirmeach a dháiltear saintréithe an scannáin.
Cé gur féidir na fadhbanna nasctha atá liostaithe thuas a sheachaint, má dhéantar an sprioc sputtering cóimhiotal alúmanaim a mhonarú ag baint úsáide as an bpróiseas foirmithe spraeála aitheanta, beidh sé fós ag táirgeadh an sprioc sputtering. Ardaítear costas an táirgthe go suntasach, go háirithe nuair a dhéantar roinnt spriocanna sputtering atá deacair a chruthú agus a éilíonn úsáid cothromaithe te.
Úsáideann an teicníc seo púdar spraeála gáis chun spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim a chruthú, rud a fhágann go bhfuil táirgeadh spriocanna cóimhiotal tíotáiniam-alúmanam níos simplí agus níos saoire. Tá an púdar cóimhiotal sieved i gcomparáid leis an sprioc sputtering púdar amhábhar a fháil ar an méid ceart na gcáithníní púdar, agus ansin tá an púdar bhfolús te-brúite a chruthú ar an cóimhiotal alúmanaim sputtering target.The cruthú spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim éagsúla (alúmanam- is féidir cróimiam, alúmanam-sileacain-copar, alúmanam-tíotáiniam, etc.) a bhaint amach trí úsáid a bhaint as an modh seo chun spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim a tháirgeadh le púdar spraeála aeir.
Is é an nós imeachta a mholtar le cur i bhfeidhm ná amhábhair miotail a sholáthar ar dtús chun spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim a mhonarú agus iad a leá ina mhiotal leáite; ina dhiaidh sin, déan púdair miotail ón miotail leáite ag baint úsáide as an modh spraeála gáis; agus ar deireadh, teas na púdair miotail ag baint úsáide as bhfolús. déanta isteach i cóimhiotal alúmanaim a sputter agus pas a fháil trí ghás támh mar ghás sciath. Is féidir leis an bpróiseas seo spriocanna sputtering ard-chaighdeán a tháirgeadh níos tapúla agus níos inacmhainne agus ag seachaint na míbhuntáistí a bhaineann le deighilt ábhar agus microparticles.
