Tá microstructure ag an sprioc spraeála teirmeach rothlach comhdhéanta de ghrán cothrom cruinn atá cosúil le cácaí, agus tá an treoshuíomh gráin comhthreomhar leis an ais rothlach. {0}}%.Tá tionchar suntasach ag an tsubstaint sciath, an modh spraeála, agus an ráta sreafa gáis ar chainníocht agus cruth an phiocháin.Tá asaithe agus dí-asú ocsaigine, chomh maith leis an taise comhthimpeallach le linn déantúsaíochta agus stórála an sprioc, a chomhghaolú go dlúth leis na pores. Mar thoradh air sin, roimh sputtering, ní mór don sprioc spraeála teirmeach an gás adsorbed a bhaint as an dromchla ag baint úsáide as caidéal scoite tacaíochta.
Toisc go bhféadfadh spraeáil theirmeach rudaí cosúil le slata, sreanga, agus cáithníní púdair nach ngalóidh roimh leá a chóta, is féidir é a úsáid chun éagsúlacht ábhar a chóta, lena n-áirítear miotail, cóimhiotail agus criadóireacht. Ní féidir spriocanna réitigh comhleá a dhéanamh ach amháin de mhiotail. nó cóimhiotail a bhfuil a leáphointí comhthráthach le cinn an innealra réitigh. Níl criadóireacht atá brittle go maith le haghaidh réitigh. Tá gá le trealamh réitigh speisialta má tá an pointe leá ró-ard.Additionally, beidh roinnt ábhar ceirmeach a dhíscaoileadh nó a dhíghrádú roimh leá.
