Sprioc Sputtering Tantalum Ard-íonachta

In recent years, with the rapid development of the electronic information industry, sputtering targets for integrated circuits have also been greatly developed. Among the metal targets used to manufacture semiconductor chips, common sputtering targets are non-ferrous metals such as Ta Ti Al Co and Cu. Among them, the largest amount of metal sputtering targets for integrated circuit manufacturing is ultra-high purity aluminum (>99.999 faoin gcéad ) agus spriocanna cóimhiotal alúmanaim ultra-ard íonachta, agus is é an sprioc tíotáiniam ultra-ard íonachta a úsáidtear le haghaidh ciseal bacainn sputtering ná sprioc tíotáiniam íonachta ultra-ard. I LSIanna, tá leictreamaimirce idirnasctha miotail ar cheann de na príomh-mheicníochtaí teip. Ag dlús ard-srutha, tá sreang alúmanaim seans maith le leictreamigration, rud a fhágann go gcruthófar protrusions agus folúntas sa scannán idirnasctha alúmanaim, rud a laghdóidh éifeachtacht oibriúcháin agus iontaofacht na gciorcad iomlánaithe. Tá friotachas Cu thart ar 35 faoin gcéad níos ísle ná friotaíocht Al, agus tá an fhriotaíocht in aghaidh leictreamaice láidir freisin; Agus le forbairt ardscála ciorcaid chomhtháite, tá an leibhéal comhtháthaithe ag fáil níos airde agus níos airde, agus cuirtear ceanglais theicniúla níos airde ar aghaidh maidir le spriocanna sputtering a mhonarú le haghaidh sraitheanna idirlíne agus bacainní, sa phróiseas domhain submicron (Níos lú ná nó cothrom le. 018um), cuirfear copar in ionad alúmanam de réir a chéile mar an t-ábhar le haghaidh sreangú miotalaithe ar sliseoga sileacain, is féidir spriocanna copair íonachta ultra-ard a úsáid níos mó, agus is sprioc tantalam ard-íonachta é sputtering comhfhreagrach an bhacainn fireann.

Leis an méadú ar mhéid an sprioc tantalam ard-íonachta mar ábhar sciath bacainn sputter, tá a riachtanais maidir le feidhmíocht sprice ag fáil níos airde agus níos airde freisin, mar shampla an spriocmhéid sputtering níos mó agus níos mó, an míne agus níos éide an microstructure, etc. Dá bhrí sin, tá aird de réir a chéile tarraingthe aird ar an taighde ar an bpróiseas ullmhúcháin sputtering spriocanna. Faoi láthair, cuimsíonn próiseas ullmhúcháin sprioc sputtering tantalam ard-íonachta modh bruithnithe agus réitigh agus modh miotalóireacht púdair:

1.Preparation de ard-íonachta sputtering sprioc trí bruithnithe agus réitigh modh

Faoi láthair is é an modh bruithnithe agus réitigh an príomh-mhodh chun spriocanna sputtering tantalam a ullmhú, go ginearálta déantar na hamhábhair tantalam a bhrionnú (bhíoma leictreon nó stua, leá plasma, etc.), agus déantar na dtinní nó na bearnaí a fhaightear arís agus arís eile te brionnaithe, annealed, agus ansin rolladh, annealed, agus chríochnaigh isteach sa sprioc. Déantar na dtinní nó na bearnaí a bhrionnú go te chun an struchtúr réitigh a scriosadh, ionas go n-imíonn na pores nó an deighilt idirleata, agus ansin iad a athchriostalú trí anáil, rud a fheabhsaíonn dlús agus neart an fhíocháin.

D'fhonn a áirithiú go bhféadfaidh an sprioc scannáin ardcháilíochta a sputter, go ginearálta tá ceanglais ard ann maidir le spriocanna sputtering tantalam, agus dá airde íonacht an ábhair sprice, is amhlaidh is fearr an caighdeán scannáin.

2. Sprioc sputtering tantalam ard-íonachta a ullmhú ag miotalóireacht phúdair

I measc na modhanna chun spriocanna tantalam ard-íonachta a ullmhú ag miotalóireacht phúdair áirítear go príomha brú te, brú isostatach te, shintéiriú i bhfolús isostatach fuar, etc. Faoi láthair, is é an modh sputtering tantalum sputtering ullmhaithe miotalóireacht púdair níos coitianta ná brú te agus modh brúite isostatach te. , trí dhromchla an phúdar miotail a nítriding, is féidir púdar tantalam le cion ocsaigine faoi 300mg/kg agus ábhar nítrigine faoi bhun 10mg/kg a fháil, agus ansin é a luchtú isteach sa mhúnla, agus ansin foirmiú fuarbhrúite agus múnlú brú isostatach te nó eile. modhanna shintéirithe, an íonacht 99.95 faoin gcéad nó níos mó, is é an meánmhéid gráin níos lú ná 50um, nó fiú 10um, is é an uigeacht randamach, agus uigeacht aonfhoirmeach tantalam sprioc feadh an dromchla agus tiús an sprioc.

Clibeanna Te: sprioc sputtering tantalum ard-íonachta, soláthraithe, monaróirí, monarcha, saincheaptha, ceannach, praghas, luachan, cáilíocht, ar díol, i stoc