Cuireann an sprioc-substaint raon leathan feidhmchlár ar fáil, fuinneog forbartha margaidh leathan, agus feidhmchláir den scoth ar fud réimsí iomadúla. Úsáideann formhór na bhfeistí sputtering nua-aimseartha maighnéid láidre chun leictreoin a thiomáint i bpatrún bíseach d'fhonn dlús a chur le hianú an gháis Argóin. thart ar an sprioc, rud a ardaíonn an dóchúlacht go mbeidh an sprioc imbhualadh leis na hiain Argón agus luasghéaraíonn an ráta sputtering. Go ginearálta, úsáidtear sputtering DC den chuid is mó le haghaidh bratuithe miotail, agus úsáidtear sputtering RF AC le haghaidh ábhar ceirmeach neamhsheoltach. Is é an príomh-smaoineamh ná hiain argóin a thionchar ar dhromchla an sprice trí úsáid a bhaint as scaoileadh glow i bhfolús, agus tapaeoidh na caitíní sa phlasma an tionchar. Cuirfidh an t-imbhualadh seo ar an spriocábhar eitilt amach agus taisceadh ar an tsubstráit chun sraith tanaí a dhéanamh. Déanfaidh an t-ábhar sprice é seo ar dhromchla diúltach na substainte atá le sputtered.
Maidir le sciath scannáin tríd an teicníc sputtering, tá go ginearálta pointí iolracha:
(1) Is féidir ábhair scannáin tanaí a chruthú as miotail, cóimhiotail nó imeall.
(2) Faoi choinníollacha socraithe oiriúnacha, is féidir scannán tanaí den chomhdhéanamh céanna a tháirgeadh ó roinnt spriocanna casta.
(3) Is féidir ábhar sprice agus móilíní gáis a mheascadh nó a dhlúthú trí ocsaigine nó gáis ghníomhacha eile a chur leis an atmaisféar urscaoilte.
(4) Is féidir tiús scannáin ardchruinneas a fháil go héasca trí rialú a dhéanamh ar an sprioc-sruth ionchuir agus am sputtering.
(5) Tá sé níos oiriúnaí do chruthú scannáin aonchineálach mór-limistéar i gcomparáid le modhanna eile.
(6) Is féidir suíomhanna an sprioc agus an tsubstráit a chumrú go treallach, agus go bunúsach níl tionchar ag domhantarraingthe ar na cáithníní sputtering.
