Tá plating folúis, treocht nua i gcosaint an chomhshaoil, tagtha chun cinn leis na hamanna chun na héilimh a bhaineann le bheith níos sábháilte, níos tíosaí ar fhuinneamh, le torann a ísliú, agus astaíochtaí truailleán sa phróiseas cóireála dromchla a íoslaghdú. Tá leictreaphlátála folúis níos neamhdhíobhálaí don chomhshaol ná leictreaphlátála traidisiúnta. Thairis sin, is féidir le leictreaphlátála i bhfolús bailchríoch dubh a chruthú le snasta den scoth atá dodhéanta le leictreaphlátála rialta.
Go bunúsach is imeacht taiscí fisiceach é leictreaphlátála folúis ina ndéantar gás argón a instealladh faoi fholús, go mbuaileann sé an spriocábhar, agus go n-ionsúnn na táirgí seoltaí móilíní scartha an sprioc-ábhar chun ciseal dromchla aonfhoirmeach agus réidh a dhéanamh. Cad iad na húsáidí a bhaineann leis an spriocábhar sa phróiseas leictreaphlátála bhfolús toisc go bhfuil an spriocábhar ríthábhachtach sa phróiseas leictreaphlátála seo? Tabharfaidh an t-eagarthóir réamhrá críochnúil duit inniu.
Faoi choinníollacha tipiciúla, tá na hairíonna seo a leanas ag na spriocábhair a úsáidtear i bhfolús-leictreaphlátála:
(1) Is féidir ábhair scannáin tanaí a chruthú ó mhiotail, cóimhiotail nó inslitheoirí.
(2) Is féidir roinnt spriocanna casta a úsáid chun scannán tanaí a chruthú leis an gcomhdhéanamh céanna nuair a bhíonn na coinníollacha cearta i láthair.
(3) Is féidir ábhar sprice agus móilíní gáis a mheascadh nó a dhlúthú trí ocsaigine nó gáis ghníomhacha eile a chur leis an atmaisféar urscaoilte.
(4) Is féidir tiús scannáin ardchruinneas a fháil go héasca trí rialú a dhéanamh ar an sprioc-sruth ionchuir agus am sputtering.
(5) Tá sé níos oiriúnaí do chruthú scannáin aonchineálach mór-limistéar i gcomparáid le modhanna eile.
(7) Toisc go n-iompraíonn na cáithníní sputtered ard-fhuinneamh, leanfaidh siad ag scaipeadh ar an dromchla foirmithe scannáin chun scannán láidir agus dlúth a tháirgeadh. Tá an neart greamaitheachta idir an tsubstráit agus an scannán níos mó ná 10 n-uaire níos mó ná an gnáthscannán taisce gaile. Ag an am céanna, níl mórán fuinnimh ag teastáil ón tsubstráit mar gheall ar an ard Ag teocht níos ísle, is féidir scannán criostalaithe a tháirgeadh.
(8) D’fhéadfadh scannáin leanúnacha ultra-tanaí le tiús níos lú ná 10 nm a bheith mar thoradh ar dhlús ard núiclithe le linn na gcéimeanna tosaigh de fhoirmiú scannán.
(9) Féadfar an t-ábhar sprioc a mhonarú go huathoibríoch agus go leanúnach ar feadh i bhfad agus tá saol fada aige.
(10) Ceadaíonn dearadh uathúil an mheaisín rialú agus éifeachtúlacht níos fearr agus ceadaítear an t-ábhar sprice a fhoirmiú i gcruthanna éagsúla.
Tá achoimre an eagarthóra do chách mar atá luaite thuas. Go leor tréithe feidhmchláir sprioc-ábhar le haghaidh leictreaphlátála i bhfolús. Is forbairt shuntasach teicneolaíochta é cuma na n-ábhar sprice i gcóireáil dromchla.
