D'fhonn tionchar a imirt ar hiain argón (Ar) ar dhromchla an sprice le linn sciath bhfolús, úsáidtear urscaoileadh glow go príomha.
Díbrítear adaimh an sprioc-ábhar agus tógtar iad ar dhromchla an tsubstráit chun ciseal tanaí a chruthú.Tá tréithe agus aonchineálacht an scannáin sputtered níos fearr ná tréithe an scannáin ghalaithe, ach tá a luas brataithe i bhfad níos moille. Úsáideann formhór na bhfeistí sputtering nua-aimseartha láidir. maighnéid chun ianú argón timpeall an sprice a luasghéarú trí leictreoin a bhiseadh.
méadaítear an dóchúlacht go dtarlóidh imbhualadh idir an sprioc-iain agus na hiain argóin,
Treisiú an ráta sputtering.Go ginearálta, úsáidtear sputtering DC den chuid is mó le haghaidh bratuithe miotail, agus úsáidtear sputtering RF AC le haghaidh ábhar ceirmeach neamhsheoltach. Is é an smaoineamh bunúsach ná urscaoileadh glow a úsáid i bhfolús.
urscaoileadh) Luasghéaraíonn na caitíní sa phlasma go dtí an dromchla leictreoid diúltach mar an t-ábhar sputtered mar a bhuaileann na hiain argón (Ar) an spriocdhromchla. Beidh an t-ábhar sprice eitilt amach agus taisce ar an scannán tsubstráit mar thoradh ar an tionchar seo.
(1) Is féidir ábhar scannáin a chruthú ó mhiotal, cóimhiotail nó inslitheoir.
(2) Is féidir spriocanna iomadúla agus casta a úsáid chun scannán tanaí a chruthú leis an gcomhdhéanamh céanna nuair a bhíonn na coinníollacha cearta i láthair.
(3) Is féidir ábhar sprice agus móilíní gáis a mheascadh nó a dhlúthú trí ocsaigine nó gáis ghníomhacha eile a chur leis an atmaisféar urscaoilte.
(4) Is féidir tiús scannáin ardchruinneas a fháil go héasca trí rialú a dhéanamh ar an sprioc-sruth ionchuir agus am sputtering.
(5) Tá sé níos oiriúnaí do chruthú scannáin aonchineálach mór-limistéar i gcomparáid le modhanna eile.
(6) Is féidir suíomhanna an sprioc agus an tsubstráit a chumrú go treallach, agus go bunúsach níl tionchar ag domhantarraingthe ar na cáithníní sputtering.
(7) Toisc go n-iompraíonn na cáithníní sputtered ard-fhuinneamh, leanfaidh siad ag scaipeadh ar an dromchla foirmithe scannáin chun scannán láidir agus dlúth a tháirgeadh. Tá an neart greamaitheachta idir an tsubstráit agus an scannán níos mó ná 10 n-uaire níos mó ná an gnáthscannán taisce gaile. Ag an am céanna, níl mórán fuinnimh ag teastáil ón tsubstráit mar gheall ar an ard Ag teocht níos ísle, is féidir scannán criostalaithe a tháirgeadh.
(8) D'fhéadfadh scannáin leanúnacha ultra-tanaí le tiús níos lú ná 10 nm a bheith mar thoradh ar dhlús ard núiclithe le linn na gcéimeanna tosaigh de fhoirmiú scannán.(9) Féadfar an spriocábhar a mhonarú go huathoibríoch agus go leanúnach ar feadh i bhfad agus tá a lán saol fada.
(10) Is féidir leis an spriocábhar cruthanna éagsúla a ghlacadh a bhuíochas le dearadh uathúil an mheaisín, rud a cheadaíonn rialú níos mó agus an chuid is mó
