Creidim go bhfuil roinnt eolais ag gach duine faoi chuspóirí brataithe. Téann sé tríd an gcóras bratuithe. Tuigimid anois spriocanna brataithe crua-bhrataithe. Déanann an t-eagarthóir achoimre ar an gcéim dheireanach do gach duine.
Is iad dearadh comhdhéanaimh sprice, claochlú struchtúir spriocchriostail, ullmhú sprice, feabhsú próisis, agus leas iomlán a bhaint as iompar sputtering sprice na ceithre phríomhréimse spéise atá ann faoi láthair le haghaidh taighde ar spriocanna brataithe le haghaidh bratuithe crua. an chéim dheireanach den phróiseas sciath sciath crua.
Ba cheart go mbeadh fostaíocht na sprice sa phróiseas brataithe mar phríomhfhócas taighde na sprice. Tá an sprioc suite sa seomra folúis ar feadh an phróisis ullmhúcháin brataithe le staid plasma an-chasta, rud a fhágann go bhfuil miotail an sprice ag creimeadh. Tá tionchar ag an plasma ar trajectory an adaimh. Chun an sprioc a choinneáil i staid chobhsaí agus go maith le linn na tógála, tá sé ríthábhachtach an próiseas sciath a bharrfheabhsú. chuig an tsubstráit le linn phróiseas sciath sputtering magnetron an sprioc cóimhiotail.
Tá an tionchar is mó ag an dlús sruth ian agus an sprioc pléasctha ar tháirgeacht sputtering an sprice. Is é caillteanas uillinn agus caillteanas scaipthe an dá phríomhchineál fuinnimh ian, ag sputtering loss.The dlús agus fuinneamh na gcáithníní a ionsaí an sprioc a athrú trí athrú ar an sruth sprice. Is féidir nimhiú an sprioc a dhéanamh níos éifeachtaí trí bhrú páirteach nítrigine a choigeartú. Is féidir an ráta a aistríonn adaimh miotail chuig an tsubstráit a rialú go héifeachtach trí chlaonadh an tsubstráit a choigeartú. D'fhonn sciath de chaighdeán níos airde a ullmhú, is féidir an t-ábhar sprioc a dhéanamh chun timpeallacht an tseomra folúis sciath a mheaitseáil níos fearr trí pharaiméadair an phróisis a rialú.
D’fhéadfaimis tairbhe a bhaint as gur spreag fás tapa an tionscail leictreonaic dul chun cinn suntasach i roinnt gnólachtaí cóngaracha. Tá dul chun cinn na heolaíochta agus na teicneolaíochta á thiomáint ag na hamanna. Tá cuspóirí brataithe crua-chrua ar cheann de na buaiteoirí móra, in éineacht linn.





