Púdar tantalam le haghaidh spriocanna sputtering leathsheoltóra
Le forbairt go mear ar theicneolaíocht leathsheoltóra, tá an t-éileamh ar tantalam a úsáidtear mar scannán sputtering ag méadú de réir a chéile. I gciorcaid chomhtháite, úsáidtear tantalam mar bhacainn idirleata. Cuirtear é idir seoltóirí sileacain agus copair. Go ginearálta déantar spriocanna a úsáidtear go coitianta de thinní tantalam, ach i gcásanna speisialta, mar shampla spriocanna cóimhiotail nb-sileacain, ní féidir an modh I/M a úsáid mar gheall ar na pointí leá éagsúla nb agus sileacain agus déine íseal na gcomhdhúile sileacain. Ní féidir ach miotalóireacht phúdair a úsáid mar spriocanna.
Bíonn tionchar díreach ag feidhmíocht an sprioc ar fheidhmíocht an scannáin sputtered. I bhfoirmiú an scannáin, ní féidir aon substaintí a thruaillíonn an gléas leathsheoltóra a bheith ann.
Nuair a dhéantar an scannán sputtering a fhoirmiú, má tá neamhíonachtaí sa sprioc tantalam (cóimhiotail, cumaisc), cuirfear neamhíonachtaí isteach sa seomra sputtering, rud a fhágann go mbeidh cáithníní garbh ag gabháil leis an tsubstráit agus gearrchiorcad an scannáin.
Ag an am céanna, beidh neamhíonachtaí mar chúis leis an méadú ar cháithníní protrusion sa scannán. Dá bhrí sin, tá ceanglais arda maidir le cáilíocht púdar litiam agus tantalam target.Although tá feidhmíocht tantalam miotail réasúnta cobhsaí, tá púdar tantalum miotail le méid na gcáithníní míne níos gníomhaí agus imoibríonn sé le ocsaigin, nítrigin, etc ag teocht an tseomra, a méaduithe ar ábhar na n-eisíontais ar nós ocsaigine agus nítrigine i bpúdar tantalam.
Cé gur féidir le íonacht roinnt táirgí tantalam miotail cosúil le dtinní tantalam atá ar fáil go tráchtála teacht ar 99.995% nó níos airde fós, is amhlaidh is míne an púdar tantalam, is airde an ghníomhaíocht chomhfhreagrach, agus an cumas ocsaigine, nítrigine, hidrigin agus carbóin a adsorbadh freisin. . Dá bhrí sin, measadh go raibh sé deacair agus deacair i gcónaí íonacht púdar tantalam a mhéadú go dtí níos mó ná 99.99%.
Mar sin féin, tá sé an-riachtanach laghdú a dhéanamh ar mhéid na gcáithníní de phúdar tantalam chun feabhas a chur ar cháilíocht spriocanna púdar tantalam agus tantalam. Tá súil ag an sprioc-réimse ábhar púdar tantalam ard-íonachta a fháil le meánmhéid na gcáithníní D50<25 μm.
Faoi láthair, glacann an próiseas táirgthe púdar tantalam grád metallurgical traidisiúnta an modh díhiodráitithe comhuaineach agus laghdú ocsaigine. Mar gheall ar threoracha úsáide difriúla, níl na ceanglais maidir le íonacht agus méid na gcáithníní de ghnáth-phúdar tantalam grád-mhiotaleolaíochta ard. Is féidir leis an bpróiseas díhidriginithe comhuaineach agus laghdú ocsaigine costais a shábháil go héifeachtach.
Is é an díhidriginiú ná hidríd tantalam a théamh agus a dhianscaoileadh chun an hidrigin asaithe a bhaint. Is é an teocht dianscaoilte hidríde tantalam 600 céim, ach tá an luas an-mhall.
De réir mar a ardaíonn an teocht, méadaíonn an luas dianscaoilte. Tosaíonn cuid mhór hidrigine a scaoileadh os cionn 800 céim. Chun hidrigin a scaoileadh go hiomlán, caithfidh an teocht a bheith níos airde ná 800 céim. Dá airde an teocht, is ea is críochnúla an díhidriginiú.
