Ní chomhlíonann struchtúr inmheánach an sprioc tungstain cruthaithe ag an teicníc mhiotaleolaíocht púdair atá ann faoi láthair na ceanglais phróiseas sputtering atá ag ardú maidir le haonchineálacht agus méid gráin. Déanann an chéad chuid eile cur síos ar theicníc nua chun spriocanna tungstain a tháirgeadh.
1. Tabhair amach púdar tungstain a bhfuil achar dromchla sonrach aige ar mó é ná 1.1 mVg nó cothrom leis;
2. Folús-róin an púdar tungstain taobh istigh de sheath rubair atá 3 go 5 milliméadar ar tiús nó truaill alúmanaim atá 2.5 go 3.0 milliméadar ar tiús;
3. Cuirtear an truaill rubair nó an truaill alúmanaim i bhfoirnéis brú isostatach fuar, áit a ndéantar an púdar tungstain a dhlúthú ar dtús leis an nós imeachta brú isostatach fuar chun an chéad sheath rubair dlúthaithe nó truaill alúmanaim a chruthú. Maidir leis an sprioc tungstain bán, tá an teocht brú isostatach fuar ag teocht an tseomra, tá an brú brú fuar isostatach níos mó ná nó cothrom le 150 MPa, agus coimeádtar an brú fuar isostatach brú ar feadh aon go deich n-uaire;
4. Baintear an truaill rubair nó alúmanaim tar éis an chéad chóireáil dlúthaithe, agus ansin cuirtear an chéad sprioc tungstain bán tríd an dara cóireáil dlúthaithe ag baint úsáide as teicníc shintéirithe ionduchtaithe chun an dara sprioc tungstain a chruthú bán. Ionduchtú shintéirithe Déantar an nós imeachta i bhfoirnéis shintéirithe ionduchtaithe, a théitear ar ráta 3 chéim /nóim go 10 gcéim /nóim agus í á aslonnú go bhfolús ar lú é ná nó cothrom le 10-1Pa;
5.Agus é a shealbhú ansin ar feadh 15 go 20 uair an chloig agus shintéiriú ionduchtaithe;
6. Chun sprioc tungstain a chruthú, cuirtear an dara sprioc tungstain bán tríd an tríú cóireáil dlúis trí bhrú isostatach te tar éis an dara cóireáil dlúthaithe.
Úsáidtear foirnéis brú isostatach te chun an próiseas brú isostatach te thuasluaite a dhéanamh. Déantar an foirnéis brú isostatach te a chóireáil i bhfolús go dtí go bhfuil an chéim bhfolús níos lú ná nó cothrom le 100 Pa, agus ansin socraítear é go teocht shonrach. Tá ráta teasa brú isostatach te na foirnéise brú isostatach te á rialú go 3 céim / nóim go 10 céim / nóim, agus raonta teocht an bhrú isostatach te ó 1700 céim go 1900 céim. Coimeádtar an teocht agus an brú brú isostatach te ar feadh 2 go 5 uair an chloig, agus tá an brú brú isostatach te níos mó ná nó comhionann le 180MPa.
